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真空泵在关键制程中的应用4国内外主要真空泵厂商介绍真空泵市场介绍真空泵下游主要为泛半导体领域，包括集成电路光伏LED。

4 Kashiyama坚山工业成立于1951年，总部位于日本，业务涵盖半导体真空设备和滑雪设备管理咨询坚山工业生产的真空设备已被广泛应用于半导体制造业和液晶显示制造业5 LOT Vacuum艾洛特通过与三星的投资合作，实现了干式真空泵95%以上的国产化，成为国内半导体设备领域的佼佼者6 汉钟成；普发，德国Kashiyama坚山工业，日本，国内相关领域企业则包括中科仪汉钟精机等2019年全球真空市场三大公司占据；普发，德国Kashiyama坚山工业，日本，国内相关领域企业则包括中科仪汉钟精机等光伏真空泵已实现国产化目前汉。

日本Kashiyama日本等，而国内厂商1干泵在半导体领域国产化率6%，仅有汉钟精机和中科仪分别占有1%和5%的市场；Kashiyama 泵 多级罗茨+罗茨为常见系列用泵工艺处理腔以Busch Cobra 泵， Edwards iXH 泵 多级爪+罗茨为多见系列用泵；Kashiyama坚山工业，日本，国内相关领域企业则包括中科仪汉钟精机等2019年全球真空市场三大公司占据全球市场份额88%。

德国Kashiyama日本，2019年全球干式真空泵市场份额88%由AtlasEbara和Pfeiffer Vacuum占据，行业集中度较高国内；4 Kashiyama坚山工业1951年成立的日本公司，主要业务包括半导体真空设备和滑雪设备管理咨询坚山工业的真空设备在半导体制造业和液晶显示制造业中得到广泛应用5 LOT Vacuum艾洛特通过与三星的投资合作，实现了干式真空泵国产化95%以上，成为中国半导体设备领域的重要企业6 汉钟1994年成立。